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PRODUCT CENTER

產(chǎn)品中心

當前位置：首頁產(chǎn)品中心鈣鈦礦太陽能電池制備MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)

原子層沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介：

原子層沉積系統(tǒng)


深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳，是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè)，長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發(fā)一站式服務(wù)平臺，為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。
深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯(lián)盟，目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，精心為科學(xué)家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。

產(chǎn)品型號：MSK-PSE-ALD1010

更新時間：2025-02-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：441

服務(wù)熱線

0755-26959531

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產(chǎn)品介紹

MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)


 功能特點


  • 外熱式反應(yīng)腔體，加熱結(jié)構(gòu)在真空室外，反應(yīng)腔室維護保養(yǎng)無需拆卸腔室加熱器或樣品臺加熱器；

  • 配有可拆卸片托，支持100mm*100mm方片及以下尺寸的樣品；

  • 3路前驅(qū)體源系統(tǒng)（包括2路金屬源和1路水源）；

  • 高性能真空系統(tǒng)和殘余前驅(qū)體源處理熱阱；

  • 自動控制沉積系統(tǒng)和工藝壓力實時檢測顯示；

  • 可置于手套箱底部與手套箱對接；

  • 可視化的操作界面，實時顯示系統(tǒng)各部分運行狀態(tài)，可方便的調(diào)節(jié)溫度、流量、脈沖時間等參數(shù)，編輯并保存配方參數(shù)；

  • 多用戶權(quán)限分配，軟硬件互鎖，異常報警、緊急停機等功能確保安全性；

  • 沉積模式可設(shè)為連續(xù)模式或停流模式；

  • 外置移動支架顯示器操作。


MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)

  技術(shù)參數(shù)
電源三相五線制AC380V±10%，頻率50Hz/60Hz，功率約12KW
反應(yīng)腔體腔室外熱式單腔腔室
樣品尺寸最大100mm*100mm方片及以下尺寸
反應(yīng)溫度最高150℃
前驅(qū)體源系統(tǒng)金屬源2路標準加熱前驅(qū)體源
配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應(yīng)時間＜10ms）、手動隔膜閥和50mL不銹鋼源瓶
源瓶及管路加熱溫度室溫至200℃
水源1路水源
配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應(yīng)時間＜10ms）、手動球閥和50mL不銹鋼源瓶
載氣系統(tǒng)2路載氣系統(tǒng)
全套管路+VCR密封，前驅(qū)體源管路具有在線清洗功能
真空系統(tǒng)極限真空小于5×10-3Torr
真空漏率小于5×10-7Pa·L/s
真空泵抽速40m3/h
其他配置真空泵前級配置熱阱，加熱溫度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反應(yīng)的前驅(qū)體源
真空計真空計前設(shè)有保護真空計的高效過濾網(wǎng)，沉積過程中可以實時監(jiān)測顯示腔室壓力的變化
主機PLC+4U工控機+顯示器


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